重點摘要：SEMI F47 是什麼？
SEMI F47 是國際半導體產業協會（SEMI）訂定的電壓驟降耐受規範，1999 年通過，現行版本為 F47-0706。它要求半導體製程、量測與自動測試設備通過三個測試點：電壓剩 50% 持續 200 毫秒、70% 持續 500 毫秒、80% 持續 1 秒，期間不可停機、不需人員介入。測試方法依設備電流大小，採用 IEC 61000-4-11（每相 16 A 以下）或 IEC 61000-4-34（16 A 以上）。
SEMI F47 是什麼？管哪些設備、不管哪些？
SEMI F47 由 EPRI（美國電力研究院）、電力公司、半導體廠與設備商共同推動，1999 年通過（EPRI，2013）。它規定的是半導體製程、量測與自動測試設備「最低」要撐過的電壓驟降，目的很單純：壓降發生時，設備繼續運轉，不需要操作人員介入。
它不處理的範圍也要知道：F47 不管產品品質，也不涵蓋電壓突升、高頻突波等其他電力擾動（Advanced Energy，AN1401）。廠務系統另有 SEMI F49 指引，電力公司端的壓降表現則參考 SEMI F50。
SEMI F47 耐受曲線：F47-0706 的三個測試點
| 剩餘電壓 | 持續時間 | 50 Hz 週波數 | 60 Hz 週波數 |
|---|---|---|---|
| 50% | 200 毫秒 | 10 週波 | 12 週波 |
| 70% | 500 毫秒 | 25 週波 | 30 週波 |
| 80% | 1 秒 | 50 週波 | 60 週波 |
百分比指的是「壓降期間還剩多少電壓」。例如 200 V 系統發生 70% 壓降，電壓是降到 140 V，而不是 60 V。
此外，F47-0706 還列了三個「建議、但非必要」的耐受點：電壓剩 0% 持續 1 週波（20 毫秒）、剩 80% 持續 10 秒、剩 90% 持續運轉（Advanced Energy，AN1401）。
F47-0706 和舊版 F47-0200 差在哪？
2006 年的改版移除了舊版「50% 持續 50 毫秒」這個測試點，並改成「在三個測試點通過」就算符合，不再以「曲線以上的範圍都要撐住」來判定；新版也明確寫出不要求三相同時壓降的測試。此後這份標準在 2011–2012 年複審時認定不需技術修改，維持至今（Lewis Bass，SEMI F47 標準沿革）。
| 項目 | F47-0200（舊版） | F47-0706（現行） |
|---|---|---|
| 發布時間 | 2000 年 2 月 | 2006 年 7 月；2011–2012 年複審，維持不變 |
| 50% 持續 50 毫秒 | 有這個測試點 | 移除 |
| 必要測試點 | 50%／50 毫秒起，到 80%／1 秒 | 50%／200 毫秒、70%／500 毫秒、80%／1 秒 |
| 怎樣算符合 | 曲線以上的範圍都要撐住 | 三個測試點通過即可 |
| 三相同時壓降 | 未明確規定 | 明確寫出不要求 |
版本號的後四碼是發布年月：0200＝2000 年 2 月、0706＝2006 年 7 月。設備規格或採購文件寫的是哪一版，驗收方式就不同，要先對清楚。
SEMI F47 測試流程：實際怎麼測？
以下流程整理自 F47-0706 的規定與實際公開的測試報告（PULS TP960.241 SEMI F47 測試報告，2024）：
確認受測條件
記錄受測設備的額定電壓、頻率與負載。測試必須在「代表實際使用」的負載下進行，空載通過沒有意義。50 Hz 和 60 Hz 都要考慮；以上述報告為例，50 Hz 的條件比 60 Hz 更嚴苛。
選擇測試方法
每相電流 16 A 以下的設備，依 IEC 61000-4-11 的程序測試；16 A 以上依 IEC 61000-4-34。F47 的三個測試點，在 IEC 61000-4-34 裡屬於「使用者自訂」的 Class X 等級（EPRI，2013）。
架設測試設備
用可程式交流電源或壓降產生器供電，再以示波器、差動探棒量測輸入電壓，電流探棒量測輸入電流，同時監看設備的輸出與狀態訊號。測試用電源的峰值電流能力也要符合 IEC 標準的要求。
施加壓降
單相設備在相與中性點之間施加壓降；沒有中性線的三相設備，則把壓降施加在其中一組相對相（例如 L1–L2）。測試設備可以控制壓降開始的相位角，詳細的相位角與重複次數以標準原文為準。
判定是否通過
整台設備的判定標準是「不中斷」：不發生需要外部介入才能恢復的故障或停機。元件層級（例如電源供應器）則依下一節的 a、b、c 三種標準判定。
附加量測與出具報告
好的測試報告還會記錄壓降結束、電壓恢復瞬間的湧入電流（用來確認保險絲選得對不對），以及不同環境溫度下的結果。
通過標準：整台設備和元件不一樣
整台半導體設備的通過標準是「不中斷」。子系統和元件則可以依用途，指定符合以下其中一種（Advanced Energy，AN1401）：
| 等級 | 壓降期間 | 恢復方式 | 可否送出異常訊號 |
|---|---|---|---|
| a | 維持滿載額定運轉 | 不受影響 | — |
| b | 可以無法滿載運轉 | 自行恢復，不需人員或主控制器介入 | 不可送出 |
| c | 可以無法滿載運轉 | 自行恢復，不需人員或主控制器介入 | 可以送出 |
拿到 SEMI F47 測試報告，要看哪 6 件事？
標準版本
是否寫明 SEMI F47-0706，以及採用 IEC 61000-4-11 或 IEC 61000-4-34。
測試條件和你的現場一不一樣
測試電壓、頻率、負載是否跟你實際使用的條件相同。報告只證明「在報告寫的條件下」通過。
壓降施加在哪裡
三相設備是施加在哪一組相對相。F47 不要求三相同時壓降，這點要心裡有數。
用的是哪一級通過標準
元件報告是依 a、b、c 哪一級判定，它的「通過」對你的整台設備夠不夠。
報告寫明的限制
元件報告常會註明「系統整合商須自行判斷是否適用」。例如上述電源報告就寫明，F47 認證並非為這類元件設計，由整合商判斷相容性。
老化的影響
電源的撐住時間會隨元件老化縮短。上述報告估計，在使用壽命末期撐住時間可能減少約 15%。新機通過，不代表十年後還能通過。
通過 SEMI F47，為什麼還是會因壓降停機？
因為 F47 只是「最低」要求。EPRI 指出，SEMI F47、IEC 61000-4-11 與 IEC 61000-4-34 都沒有要求測試三相同時壓降（EPRI，2013），而實際電網事故可能造成三相一起掉。其他常見原因還有：壓降比 50% 更深或持續更久、短時間內連續發生、周邊元件與廠務系統不在 F47 範圍內，以及設備老化。這段缺口的處理方式，可以參考 SEMI F47 的缺口與壓降保護。
常見問題
SEMI F47 的三個測試點是什麼？
電壓剩 50% 持續 200 毫秒、剩 70% 持續 500 毫秒、剩 80% 持續 1 秒。設備在這三個條件下都必須持續運轉，不需要人員介入。
SEMI F47 耐受曲線怎麼看？
橫軸是壓降持續多久，縱軸是壓降期間還剩多少電壓。F47-0706 的曲線由三個必要測試點組成：剩 50% 持續 0.2 秒、剩 70% 持續 0.5 秒、剩 80% 持續 1 秒；落在曲線上方（掉得比較淺、或時間比較短）的壓降，設備都必須持續運轉。曲線下方的壓降不在 F47 要求範圍內，實際電網仍可能發生。
SEMI F47 和 IEC 61000-4-34 有什麼關係？
SEMI F47 規定「要撐過哪些壓降」，IEC 61000-4-11 與 IEC 61000-4-34 規定「怎麼測」。每相 16 A 以下的設備用 IEC 61000-4-11，16 A 以上用 IEC 61000-4-34。
舊設備沒有通過 SEMI F47，一定要換掉嗎？
不一定。多數舊設備跳機，是少數幾個元件撐不住，例如交流控制繼電器、接觸器或控制電源。找出這些元件逐一強化，或只在控制迴路加裝電壓驟降補償器，通常就能改善。
電源供應器可以拿到 SEMI F47 證書嗎？
元件通常是提供依 F47 測試的報告，而不是整機證書。以公開的電源測試報告為例，就註明 F47 證書並非為這類元件設計，須由設備整合商判斷報告是否適用於整台設備。