Voltage Sag Protector

瞬低保護装置 VSP0.1 秒の瞬低で、ラインを何時間も止めないために

瞬低保護装置(VSP、Voltage Sag Protector)は瞬時電圧低下補償装置とも呼ばれ、スーパーキャパシタに蓄電する電力保護装置です。通常時はバイパスを通るため電力損失はほぼゼロ。電圧低下を検知すると 1 ミリ秒以内にキャパシタからインバータ経由の給電に切り替え、全負荷で最大 3 秒補償します。PLC・産業用 PC・ロボットなどの制御機器が「一瞬の電圧低下」でリセットして止まるのを防ぎます。

≤ 1 ms切替時間
3 秒全負荷での最大補償
0.85–200kVA の容量範囲
0 個バッテリー不使用、定期交換不要
瞬低保護装置 VSP のラインナップ:単相卓上型、三相 30 kVA と 100 kVA の床置きキャビネット
単相 850 VA–10 kVA/三相 5–200 kVA、寸法と外観はカスタム可
E環境

ESG の位置づけ:E(環境)に対応SDG 9産業と技術革新の基盤をつくろうSDG 12つくる責任 つかう責任DEYly の ESG の考え方 →

説明できる効果
瞬低による停止で生じる仕掛品の廃棄と再処理のエネルギーを削減。待機損失が小さく、常時インバータ方式の UPS のように 24 時間電力を消費し続けることもありません。
主張の範囲
導入前の停止・廃棄記録をベースラインとし、導入後は VSP のイベント記録・瞬低波形・電力と CO₂ の記録で比較します。装置そのものが CO₂ を削減するとは主張しません。

What is a voltage sag瞬低(Sag)とは?電気は切れていないのに、電圧だけが急に落ちる

IEEE 1159 の定義では、瞬低とは電圧が定格の 10–90% まで低下し、半サイクルから 1 分続いて回復する現象です。10% を下回ると停電扱いになります。台湾のサイエンスパークで多い瞬低はほとんどが 0.1 秒前後。人には照明が一瞬ちらつく程度ですが、装置内の PLC・制御電源・電磁開閉器はすでに電源を失いリセットしています。

台湾電力(台電)の定義も同じで、供給電圧の実効値が定格の 90% 以下に急低下し、0.5 サイクルから 1 分続くものとしています(台電 FAQ「瞬時電圧低下とは?」)。

瞬低と停電の違い(DEYly 帝亞智能まとめ)
比較項目瞬低(Sag)停電(Interruption)
電気は切れるか切れない、給電は継続給電が途絶える
電圧定格の 10–90% が残る10% 未満
継続時間半サイクル~1 分。台湾のパークでは約 0.1 秒が多い通常は数秒以上、数時間に及ぶことも
目に見える現象照明が一瞬ちらつく・暗くなる照明が消え、設備がすべて停止
影響を受ける設備電圧に敏感な設備だけがトリップ・リセットすべての設備が停止
対応する保護装置瞬低保護装置、UPSUPS、発電機
瞬低波形のイメージ:通常 100% の電圧が約 0.1 秒で 10–90% まで落ち、その後系統が自動回復 通常電圧 100% 10–90% に瞬時低下・約 0.1 秒 系統が自動回復 © DEYly 帝亞智能
図:DEYly 帝亞智能作成。イメージ図であり、実際の低下深さ・継続時間・三相の平衡は現場の電力品質測定で確認してください。

瞬低はどこから来るのか?

よくある原因は、雷・天候、鳥の接触、工事による損傷、近隣需要家の設備故障、送配電設備の故障、そして工場内の大型モーター起動です。最後の 1 つ以外はすべて工場の外から来るため、工場側では発生を防げず、設備に耐えさせるしかありません。それが瞬低対策の意味です。6 つの原因と見分け方は「瞬低とは?原因と台湾の事例」、予防策は「工場の瞬低対策」をご覧ください。

Real voltage sag events in Taiwan science parks台湾のサイエンスパークで、瞬低は仮定ではなく繰り返し起きている

新竹サイエンスパーク

161kV 特別高圧需要家の構内自家用主変圧器が故障し、近隣系統に電圧擾乱が発生。瞬低は約 0.1 秒続きました。台電の給電は途絶えませんでしたが、一部需要家の設備は瞬低で保護が働きトリップ。復旧時間は各工場の社内手順によります。

出典:台電プレスリリース(経済部サイト)、2022/3/2

南部サイエンスパーク

台電・豊華変電所の 161kV GIS 断路器が故障し、台南・高雄パークの一部企業で瞬低が発生。UMC は一部ウェーハの廃棄と一部装置の再起動を認め、残業で挽回すると発表しました。

出典:中央通訊社、2023/6/1

南部パークで瞬低 13 回

台電によると、南部パークでは 2020 年に 13 回の瞬低が発生し、2021 年も 4 月中旬までに 3 回。原因は鳥の接触、企業の設備故障、工事による損傷など、ほとんどが工場の外の要因で、工場自身では防げません。

出典:工商時報、2021/4/16
13 回

これは南部パークの 2020 年 1 年間の瞬低回数で、台電自身の統計です。同じ時期、南部パークのある企業は自社統計で「1 四半期に 18 回」としており(自由時報、2021/4/15)、数字には差があります。ただ、どちらを採っても瞬低は毎年必ず起きるもの。問題は、まだ保護されていない設備がどれだけあるかです。

2025 年の新竹パークの大晦日、高雄パークの瞬低事例は「台湾パーク瞬低事例の年表」をご覧ください。

From a 0.1-second dip to hours of downtimeなぜ 0.1 秒の瞬低が、何時間もの停止になるのか?

多くの場合、壊れるのは大型設備ではありません。ポンプ・ヒーター・モーターは慣性で 0.1 秒を乗り切ります。装置を本当に止めるのは制御系です。小さな制御電源が 1 つリセットするだけで装置全体が止まり、再起動・点検・再認定(qualify)へと続きます。

  1. 0.1 秒瞬時電圧低下電圧が 20–80% に低下
  2. 数ミリ秒以内制御機器が電源喪失PLC・電磁開閉器が耐えられない
  3. 直後装置アラームレシピ中断・ロボット停止
  4. 数時間復旧と点検再起動・qualify
  5. 見えないコスト実際の損失生産能力・WIP・人件費・納期

SEMI F47 compliance is not the whole storySEMI F47 準拠でも、止まらないとは限らない

SEMI F47 は半導体装置の瞬低耐量規格で、主装置は電圧が 50% で 0.2 秒、70% で 0.5 秒、80% で 1 秒残る間は停止してはならないと定めています。しかし台湾で実際に起きる瞬低はもっと深く不規則なことが多く、50% 以下への低下、三相不平衡、連続発生もあります。さらにロボット・通信・制御電源などの周辺機器は検証されていないこともあります。VSP が埋めるのは、F47 がカバーしないこの隙間です。

SEMI F47 耐量曲線と VSP の補償範囲:F47 が求めるのは 50%/0.2 秒、70%/0.5 秒、80%/1 秒のみ。VSP は残存電圧 0–90%、最大 3 秒を補償。台湾の実例は残存 20%・0.1 秒で、F47 が耐量を求めていない領域に入る VSP の補償範囲:残存電圧 0–90%、最大 3 秒 3 秒 F47 が耐量を 求めていない領域 ← SEMI F47 耐量曲線 実例:残存電圧 20%、0.1 秒 主装置は F47 準拠でも、制御回路はリセットする 0.010.1110 秒継続時間(対数目盛) 0%20%40%60%80%100% 残存電圧 © DEYly 帝亞智能
図:DEYly 帝亞智能が SEMI F47 規格と VSP の仕様をもとに作成。曲線より上が主装置が耐えなければならない範囲です。試験の流れとレポートの読み方は「SEMI F47 とは」、未準拠の旧型装置の対策は「旧型装置の改善方法」をご覧ください。

How VSP worksVSP の仕組み:普段は介入せず、異常時だけ動く

VSP は工場の電源とプロセス装置の間に直列に入ります。通常時は電流が SCR バイパスをそのまま通るため電力損失はほぼなく、同時にスーパーキャパシタを充電します。瞬低が起きると、スーパーキャパシタがインバータ経由で正弦波を出力して電圧を補い、系統が回復すると自動でバイパスに戻って再充電します。

VSP の構成:工場電源から SCR バイパス経由でプロセス装置へ給電。通常時はスーパーキャパシタを充電し、瞬低時はキャパシタがインバータ経由で正弦波を出力して電圧を補い、装置は運転を継続 工場電源 SCR バイパス通常は電流がそのまま通過 プロセス装置 キャパシタ蓄電、バッテリーなし インバータ正弦波を出力 通常時に充電 ⚡ 瞬時電圧低下 ● 通常給電:電流は SCR バイパスを通り、同時にキャパシタを充電 ● 瞬低発生:1 ms 以内に切替、キャパシタからインバータ経由で電圧を補う ● 系統回復:自動でバイパスに戻り、キャパシタを再充電 装置は運転を継続 通常モード:バイパス経由、損失はほぼゼロ瞬低発生:キャパシタがインバータ経由で電圧を補う © DEYly 帝亞智能
図:DEYly 帝亞智能作成。
01検知入力電圧を常時監視
02切替1 ms 以内にキャパシタ給電へ
03補償全負荷で最大 3 秒
04復帰系統復電後、自動でバイパスに戻り再充電

Selective protection: back up the controls, not the whole tool装置全体ではなく、リセットの原因になる機器だけを守る

これは DEYly が機種選定で最初に置く原則です。100 kVA の装置に 100 kVA の VSP が必要とは限りません。瞬低でリセットする制御回路だけを VSP につなぎ、ポンプ・ヒーター・モーターは元の電源のまま慣性で乗り切らせれば、最小の容量で最も多い停止原因を防げます。

プロセス装置 1 台の電力負荷

PLC/コントローラ電源喪失で即リセット
Dry Pump回転の慣性
IPC/タッチパネルデータとレシピが中断
Chiller温度のバッファ
Robot/Servo途中で停止、再ティーチングが必要
Heater熱容量が大きい
SMPS 制御電源・電磁開閉器落ちると装置全体が停止
Motor回転の慣性
EMO 回路非常停止の誤動作
RF Generatorプロセス要件に応じて評価

緑=VSP への接続を推奨する瞬低に敏感な負荷、灰色=通常は元の電源のまま。実際の保護範囲は装置の配線をもとに工学的評価が必要です。

実例:コンプレッサーに必要なのは 0.85 kVA だけ

商用電源 コンプレッサー 制御ユニット PLC・制御電源 圧縮機モーター 元の電源のまま VSP 850 VA 盤に壁掛け VSP で保護 元の電源 © DEYly 帝亞智能
0.85kVA
壁掛け型 VSP、制御ユニットだけに接続

850 VA の壁掛け型 VSP を盤に直接取り付け、制御ユニットの電源だけをつなげば、コンプレッサー全体が瞬低で止まらなくなります。

  • 圧縮機モーターは元の電源のまま、回転の慣性で乗り切る
  • 装置全体の容量で選定する必要はない

現場の手がかり:照明が一瞬ちらつき、同じ型式の装置だけが止まる

同じ瞬低なら、どの装置にかかる電圧低下も同じです。特定の機種だけが止まるのは、その中のある制御機器(制御電源や電磁接触器など)が耐えられないから。これこそ「リセットする機器だけを守る」理由です。その機種の制御回路を特定し、そこにだけ VSP を追加します。

VSP and UPS solve different problemsVSP と UPS の違い:UPS は停電、VSP は瞬低

両者は役割分担であり、互いの代わりにはなりません。UPS の役割は停電時に数分~数十分給電を続けること。VSP は 3 秒以内の瞬低に特化しています。常時インバータ方式の UPS でも瞬低は防げますが、問題はその代償です。24 時間の二重変換で電力を消費し続け、バッテリーの定期交換も必要です。重要負荷がすべて容量十分な常時インバータ UPS につながっているなら、VSP を追加する必要はありません。アクティブ電圧調整器やフライホイールなど他の技術との比較は「瞬低保護装置の選び方」をご覧ください。

VSP と UPS の比較(DEYly 帝亞智能まとめ)
比較項目VSP 瞬低保護装置UPS 無停電電源装置工場にとっての意味
主な用途瞬時電圧低下(Sag)停電時のバックアップ役割分担であり、代替ではない
保護範囲制御回路だけを保護、最小 0.85 kVA通常は装置全体または回路全体100 kVA の装置でも数 kVA で済むことも
通常時の電力損失SCR バイパス経由、損失はごくわずか常時インバータ方式で約 3–6% を常に消費長期的に電気代を削減、CO₂ 削減のデータにもなる
補償時間全負荷で最大 3 秒数分~数十分(バッテリーによる)瞬低対策のためにバックアップ時間の費用を払わなくてよい
切替時間平均 0.7–1 ms常時インバータ方式 0 ms、ラインインタラクティブ方式 約 2–4 ms、常時商用方式 約 4–10 ms制御機器がリセットする前に電圧を補う
蓄電素子スーパーキャパシタ。設計寿命約 10 年、8 年後に点検推奨鉛蓄電池は 3–5 年で交換、リチウム電池は防火管理が必要電池交換不要、火災リスクが 1 つ減る
装置サイズ(100 kVA)640 × 1000 × 1800 mm約 1740 × 1900 × 1400 mm工場スペースを節約
3 秒を超える停電保護できない保護できる停電対策が必要なら、UPS や発電機は引き続き必要

試算:常時インバータ UPS で瞬低を防ぐと、年間どれだけ電力が余分にかかるか?

UPS で瞬低を防ぐには 24 時間二重変換で運転する必要があり、その損失は電気代にも CO₂ 排出にもなります。

損失電力—
年間損失電力量(× 8,760 時間)—
年間電気代—
年間 CO₂ 排出—
10 年累計—

損失熱を空調で取り除く電力は含まれていないため、実際はさらに高くなります。電気料金と排出係数は参考の初期値です。貴社のデータを入力してください。

When VSP is not the right choiceVSP が適さないのはどんな場合か?

VSP が解決するのは 1 つだけ:3 秒以内の瞬時電圧低下です。以下の場合は VSP の導入が割に合わないか適用できないため、DEYly は評価時にはっきりお伝えします。

長時間の停電に備えたい

VSP の補償は全負荷で最大 3 秒。3 秒を超える停電は防げません。停電時のバックアップが必要なら UPS や発電機が必要で、両者は併用できます。

重要負荷がすでにすべて常時インバータ UPS につながっている

リセットする制御回路がすべて容量十分な常時インバータ UPS につながっていれば、瞬低はすでに防げているので VSP は不要です。

大型負荷を丸ごと支えたい

ポンプ・ヒーター・モーターは慣性で乗り切れるため、一緒につなぐと容量とコストが膨らむだけです。まず負荷を分離して制御回路だけを保護します。RF Generator はプロセスに応じて別途評価が必要です。

屋外、または環境条件が仕様外

VSP は屋内専用で、周囲温度 0–40°C、湿度 20–90%。屋外や高温の機械室では、まず設置環境の改善が必要です。

容量や電圧が標準機の範囲外

標準機は単相 110V/220V で最大 10 kVA、三相 220V/380V/440V で最大 200 kVA。範囲外はカスタム設計となり、納期とコストは別途です。

装置内部の配線変更が必要

配線が装置内部に及ぶ場合は設備の保証に影響する可能性があるため、まず装置メーカーと接続方法を確認してから導入を判断します。

What one sag event really costs瞬低による停止 1 回で、いくらかかるのか?

瞬低 1 回のコストは電気代の請求書に見える分だけではありません。停止時間、プロセス中断による WIP の再処理や廃棄、再 qualify、エンジニアの工数、そして納期と顧客の信頼。VSP の導入コストが事故 1 回の損失を下回れば、最初の瞬低で元が取れます。

停止損失(装置 × 時間 × 生産額)—
事故 1 回の損失(WIP・qualify 含む)—
年間の瞬低リスク—

初期値はすべて仮定で、計算方法の説明用です。貴社のデータを入力してください。DEYly は過去 1 年の停止記録を正式な ROI レポートにまとめるお手伝いもできます。

Product lineup & specifications仕様と機種選定:制御回路 1 つからライン全体まで

単相機 850 VA–10 kVA(110V/220V)は装置単体の制御回路向け、三相機 5–200 kVA(220V/380V/440V)は複数装置やライン全体向け。寸法と外観はカスタム可能です。

クイック選定

保護したい制御回路の負荷を入力すると、最も近い標準容量を表示します。計算方法と例は「容量の計算方法」をご覧ください。

換算負荷—
推奨標準容量 —
定格電流—
全負荷補償時間—
寸法(W × D × H)/重量—

選定結果は初期の参考です。実際の容量は装置の配線・突入電流・接続方法をもとに現地で評価します。

共通仕様
切替時間平均 0.7–1 ms
補償時間定格負荷で最大 3 秒(850 VA・1 kVA は 2 秒)。使用環境と負荷に応じて調整可能
連続補償補償容量内で連続補償が可能、放電後は自動で再充電
蓄電素子スーパーキャパシタ、バッテリーなし。設計寿命約 10 年、8 年後に点検推奨
入力電圧範囲定格電圧 ±10%
出力電圧精度入力電圧に対して ±5%
出力波形正弦波、波形ひずみ率 < 3%
周波数50/60 Hz(±2 Hz)
過負荷保護出力が定格電流の 150% を超えると自動で出力を遮断
防火保護過温度・キャパシタ異常・過電流・過電圧を検知すると、インターロックで自動的にバイパスへ戻り、装置は商用電源で運転を継続
温度監視キャパシタ部・制御基板部・パワー素子部の 3 点で温度を測定し、画面にリアルタイム表示
イベント記録イベント記録 10,000 件、瞬低波形 30 組を保存可能
通信インターフェースRS485・Ethernet(RJ45)・USB。工場の中央監視システムに接続可能
付加機能キャパシタ残存性能の測定、電力量と CO₂ の記録、TPM 監視プログラム
使用環境0–40°C、湿度 20–90%、屋内専用
冷却方式大型ファンで熱を外部へ排出
単相機(1P)
容量850 VA1 kVA2 kVA3 kVA5 kVA10 kVA
定格電流 110V(A)8.29.118.227.345.590.9
定格電流 220V(A)4.14.59.113.622.745.5
入出力ブレーカー 110V15A20A20A50A100A150A
入出力ブレーカー 220V15A20A20A40A50A75A
全負荷補償2 秒2 秒3 秒3 秒3 秒3 秒
寸法 W×D×H(mm)170×140×460
壁掛け型
480×430×190480×430×210510×420×245540×490×245570×580×290
重量(kg)122129405473
三相機(3P)
容量(kVA)5101520304050607080100150200
定格電流 220V(A)13.126.239.452.578.7105131.2157.5183.7210262.4393.6525
定格電流 380V(A)7.615.222.830.445.660.87691.2106.4121.6151.9228304
定格電流 440V(A)6.613.119.726.239.452.565.678.791.9105131.2197262.4
ブレーカー 220V30A40A75A75A100A150A200A250A300A300A400A600A800A
ブレーカー 380/440V20A30A40A50A75A100A125A150A200A200A250A350A450A
寸法 W×D×H(mm)420×710
×1000
440×760
×1080
440×760
×1120
460×810
×1150
460×810
×1200
490×850
×1380
490×850
×1380
540×950
×1450
540×950
×1450
540×950
×1570
640×1000
×1800
790×1450
×1810
お問い合わせください
重量(kg)1301752112512883654154404905055208431,300

三相機の全負荷補償は 3 秒。寸法・外観は現場に合わせてカスタム可能。表は左右にスクロールできます。

Built-in safety, event logging and power data装置が 1 台増えても、リスクは増やさない。瞬低のたびに証拠を残す

安全

故障時は自動でバイパスへ

VSP はバイパス構成で直列に入ります。過温度・キャパシタ異常・過電流・過電圧など重大なエラーはすべてインターロックを作動させ、自動でバイパスに戻るため、装置は商用電源で運転を続けます。

キャパシタ基板は絶縁処理済みで、液漏れや正負極の短絡を防止。温度監視・冷却ファン・防火区画による管理も追加できます。

インターロック重大な異常で自動バイパス
キャパシタを 1 個ずつ監視1 個でも電圧が不平衡なら警報、焼損を防止
内部温度監視急な温度上昇で自動バイパス、閾値は設定可能
直流回路ヒューズ過電流で遮断し、IGBT と駆動基板を保護
監視

イベント記録・瞬低波形・CO₂ データ

瞬低は何時に、どの相で、どれだけ深く、どれだけ続いたか?設備管理担当は波形をもとに台電や経営層へ説明できます。電力量と CO₂ の記録は、そのまま ESG レポートにも使えます。

  • イベント記録 10,000 件、瞬低波形 30 組
  • RS485/Ethernet で中央監視に接続
  • キャパシタ残存性能の測定、電力量と CO₂ の記録
VSP の監視画面:イベント記録一覧と入出力の瞬低波形
イベント記録と瞬低波形
VSP の監視画面:1 時間ごとの電力量と CO₂ 記録
電力と CO₂ のデータ

CE conformityCE 認証はありますか?

あります。標準機種は単相 0.85 kVA から三相 150 kVAまで計 15 容量で、いずれも EMC(電磁両立性、2014/30/EU)と LVD(低電圧安全、2014/35/EU)の 2 種類の CE 文書があり、UPS の欧州規格 EN 62040 シリーズに基づいています。うち 9 容量はチェコの国立試験機関 SZÚ(Strojírenský zkušební ústav)が技術文書を審査して適合証明を発行。残り 6 容量は同じ規格に基づき製造者が署名した EC 適合宣言です。

単相 0.85 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_02(EMC)/SZU-36-11327_01(LVD)
単相 1/2 kVA製造者宣言
単相 3 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_04(EMC)/SZU-36-11327_03(LVD)
単相 5 kVA製造者宣言
単相 10 kVA製造者宣言
三相 10 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_06(EMC)/SZU-36-11327_05(LVD)
三相 15/20 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_08(EMC)/SZU-36-11327_07(LVD)
三相 30 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11317(EMC)/SZU-36-11316(LVD)
三相 40 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_12(EMC)/SZU-36-11327_11(LVD)
三相 50 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_14(EMC)/SZU-36-11327_13(LVD)
三相 60 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_16(EMC)/SZU-36-11327_15(LVD)
三相 70 kVA製造者宣言
三相 80 kVA製造者宣言
三相 100 kVA第三者審査
番号 SZU-36-11327_18(EMC)/SZU-36-11327_17(LVD)
三相 150 kVA製造者宣言

証明書をクリックすると拡大表示します。サプライチェーン情報保護のため、製造者名・住所・署名は伏せています。審査や輸入通関などで完全な書類が必要な場合は、お問い合わせください。

ApplicationsVSP が最も必要な設備は?

判断の原則はシンプルです:過去 1 年で「一瞬の電圧低下」で止まった装置はどれか?そこから始めます。

半導体前工程

Stepper/Scanner、Etcher、CVD、PVD、Sputter、Ion Implant

プロセス中断・ウェーハ廃棄・再校正を防ぐ

研削・ダイシング

Grinder、Dicing Saw、CMP

加工中の瞬停・ウェーハ損傷を防ぐ

パッケージ・テスト

Tester、Handler、Die Bonder、Wire Bonder

ロット中断・再初期化を防ぐ

自動搬送

Robot、EFEM、Sorter、OHT/AMHS

サーボ・PLC・ロボットの電源喪失によるリセットを防ぐ

真空・ユーティリティ

Vacuum/Cryo Pump、Chiller、Blower

プロセス装置の連鎖停止を防ぐ

熱プロセス

リフロー・オーブン・炉の制御系

温調・ファン・搬送の異常を防ぐ

ディスプレイ・光学、精密加工

コーター・露光・成膜・レーザー・CNC

加工中断・製品廃棄を防ぐ

制御・データシステム

IPC・PLC・コントローラ・通信機器

データ消失・制御中断を防ぐ

Semiconductor ProcessesVSP はどの半導体工程で使われるか?

161の工程で使用・13 枚のフロー図(結晶成長・前工程・後工程)

よく使われる工程:リソグラフィ(塗布・露光・現像)、ウェーハプローブ、最終テスト、リフロー、CMP 平坦化、裏面研削

フロー図をクリックすると、該当する工程がすべてオレンジ枠で表示されます。マスをクリックすると工程の説明が見られます。数値は DEYly がまとめた 半導体プロセスフロー図 をもとに算出しています。

💡 意外なところでも使えます

  • 引上げ炉(溶融・直胴部育成):1 本のインゴットに数日かかり、一度途切れると最初からやり直し
  • マルチワイヤーソー:インゴット 1 本を丸ごと同時に切断中
  • ウェーハプローブ・バーンイン:テスターが止まるとロット全体を再テスト
  • リフロー炉:温度プロファイルが途切れると仕掛品ロットが全数廃棄

Start small: assess, prove, then roll out導入の流れ:1 台から始め、データで展開を判断

  1. 01瞬低リスク評価現場で電力品質を測定し、過去 1 年の停止記録を洗い出し
  2. 02敏感回路の洗い出し各装置で本当に保護すべき制御回路を特定
  3. 03ROI 試算貴社データで停止損失と回収期間を算出
  4. 041 台で POC最も停止が多い 1 台に先行導入し効果を確認
  5. 05展開導入同機種へ横展開、または新規装置の標準装備に

POC で最も説得力がある瞬間:次の瞬低で、VSP のない装置はアラームで止まり復旧に数時間。VSP を付けた装置は通常どおり生産を続け、イベント記録が 1 件残るだけです。

FAQよくある質問:瞬低と瞬低保護装置

工場が電圧の不安定でよく止まります。瞬低保護装置は効果がありますか?

「電圧の不安定」がどの種類かによります。照明がちらつくと装置が止まり、再起動すれば元に戻るなら瞬時電圧低下で、瞬低保護装置がぴったりです。長時間の停電なら UPS や発電機、電圧が長時間高すぎる・低すぎるなら定電圧装置(AVR)、サージで設備が焼損するならサージ保護デバイスが必要です。まず停止記録でどれに当たるかを確認してから決めましょう。雷で止まるのはサージか瞬低か? →

瞬低とは何ですか?停電とどう違いますか?

瞬低は電圧が短時間だけ定格の 10–90% に下がって回復する現象で、電気は切れていません。停電は電圧が 10% 未満に下がることです。IEEE 1159 の定義では瞬低の継続時間は半サイクルから 1 分。台湾のサイエンスパークで多いのは約 0.1 秒で、人には照明が一瞬ちらつく程度にしか見えません。

なぜ瞬低で装置が止まるのですか?

装置の制御系が 0.1 秒の電源喪失に耐えられないからです。ポンプ・ヒーター・モーターは慣性で乗り切れますが、PLC・制御電源・電磁開閉器は数ミリ秒でリセットし、装置はすぐアラームで停止。その後、再起動・点検・qualify に数時間かかります。

瞬低はどう防げばよいですか?

瞬低の多くは工場の外から来ます。雷、送電線の故障、近隣需要家の設備故障、工事による損傷などで、工場は発生を防げず、設備に耐えさせるしかありません。対策は 3 段階です:SEMI F47 準拠の設備を選ぶ、リセットする制御回路に瞬低保護装置か UPS を追加する、電力品質モニタリングで瞬低を記録し、最も止まる装置から保護する。5 つの予防策を詳しく見る →

瞬低保護装置と UPS の違いは?UPS があっても必要ですか?

UPS は停電時のバックアップ、瞬低保護装置は 3 秒以内の瞬低に特化しています。常時インバータ UPS も瞬低を防げますが、24 時間の二重変換で約 3–6% の電力を常に消費し、鉛蓄電池は 3–5 年で交換が必要です。瞬低保護装置は普段バイパスを通るので電力損失はほぼなく、スーパーキャパシタなので電池交換も不要。リセットする制御回路がすべて容量十分な常時インバータ UPS につながっていれば、追加は不要です。

装置は SEMI F47 準拠なのに、なぜ瞬低で止まるのですか?

SEMI F47 が主装置に求めるのは、電圧が 50% で 0.2 秒、70% で 0.5 秒、80% で 1 秒残る間は止まらないことだけだからです。台湾で実際に起きる瞬低は 50% を下回ったり、三相不平衡や連続発生だったりすることが多く、ロボット・通信・制御電源などの周辺機器も検証されているとは限りません。そのため F47 準拠の装置でも止まることがあります。

瞬低保護装置の容量はどう選びますか?

装置全体の容量ではなく、保護したい制御回路の負荷で選びます。100 kVA の装置でも PLC・IPC・ロボット・制御電源・EMO 回路だけを保護するなら、通常は数 kVA で済みます。たとえばコンプレッサーで制御ユニットだけにつなぐなら 850 VA で十分です。標準機は単相 850 VA–10 kVA、三相 5–200 kVA。実際の容量は装置の配線をもとに現地で評価します。5 つの計算ステップと計算例を見る →

瞬低保護装置はどれくらい持ちますか?停電にも使えますか?

定格負荷で最大 3 秒補償し(850 VA と 1 kVA 機は 2 秒)、切替時間は平均 0.7–1 ミリ秒です。位置づけは瞬低対策であり、停電時のバックアップではありません。3 秒を超える停電には UPS や発電機が必要で、両者は併用できます。

瞬低が連続して起きても防げますか?

累計の補償時間が容量の範囲内なら防げます。三相機は 3 秒の補償容量内で継続して補償でき、単相 850 VA と 1 kVA 機は 2 秒以内で繰り返し補償できます。放電後は自動で再充電します。

瞬低保護装置が故障したら、装置も止まりますか?

止まりません。瞬低保護装置はバイパス構成で直列に入っており、自身に過温度・キャパシタ異常・過電流・過電圧が起きると自動でバイパスに戻るため、装置は商用電源で運転を続けます。

瞬低保護装置の寿命は?電池交換は必要ですか?

電池交換は不要です。スーパーキャパシタで蓄電し、設計寿命は約 10 年、8 年目の点検を推奨しています。キャパシタの残存性能を測る機能を内蔵しているので、状態を前もって把握できます。対して UPS の鉛蓄電池は通常 3–5 年で交換が必要です。

瞬時電圧低下補償装置の価格はどう見積もればよいですか?

価格は主に 4 つで決まります:保護する負荷の容量(単相 850 VA~三相 200 kVA で大きく異なる)、相数と電圧、設置場所と配線工事、カスタムの要否。リセットする制御回路だけを保護するため、必要な容量は装置全体より大幅に小さいのが普通です。だからこそ、測ってから見積もるのが最も正確です。装置の型式と停止記録をお送りいただければ、現地評価のうえで正式なお見積りをお出しします。評価とお見積りを予約 →

瞬低保護装置を付けると、装置の保証に影響しますか?

接続位置によります。装置内部の配線に関わる場合は保証に影響する可能性があるため、まず装置メーカーと接続方法を確認してから導入します。DEYly は装置メーカーと一緒に評価することもできます。

About the authorこの記事について

執筆

Lawrence Hsu

DEYly 帝亞智能 COO

自動化業界で 20 年(うち 15 年は複数業界にまたがる)、半導体業界で 13 年の経験を持ち、製造現場と設備のシステム統合に精通。現在は DEYly で技術評価、ソリューション企画、設備導入、国内外の市場開拓を担当しています。

技術監修

電力品質エンジニア

半導体工場の設備管理 15 年

本ページの仕様データ、SEMI F47 の説明、選定の原則、適さないケースは、半導体工場の設備管理の実務経験を持つ電力品質エンジニアが監修しています。

公開 2026-09-27・最終更新 2026-10-01。仕様が更新された場合は正式な見積書が優先されます。誤りや補足があれば info@deylysmart.com までご連絡ください。

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